平面平晶
1、平面平晶标准规格尺寸：
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规格
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30
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45
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60
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80
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100
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150
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200
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250
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300
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直径
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Φ30
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Φ45
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Φ60
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Φ80
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Φ100
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Φ150
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Φ200
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Φ250
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Φ300
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高度
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15
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15
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20
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20
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25
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30
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40
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45
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45
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特殊规格尺寸平面平晶，环形平面平晶，方形平面平晶，方形平面平晶可定做。
2、平面平晶制成精度：1
3、平面平晶工作面的平面度编差允许值为：
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直径
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30-100MM
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1 平晶
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0.03 um
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直径
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100-300MM
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1 平晶
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0.05 um
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更大尺寸平面度偏差允许值根据国家标准。
4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为0.03
5、平面平晶测量工作应在20±3条件下保持数小时后进行。
注：Φ200MM以上标准平面平晶、环形平面平晶需定做
平行平晶
产品规格：
每组平行平晶共四块，分四个尺寸系列组
测量面上平面度偏差：＜0.1UM
平行度局部偏差：
测量面平行度误差：组1系列允许差值：0.06UM，
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组1
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平行平晶
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0-25mm
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4块/组
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组2
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平行平晶
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25-50mm
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4块/组
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组3
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平行平晶
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50-75mm
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4块/组
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组4
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平行平晶
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75-100mm
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4块/组
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